真空設(shè)備應(yīng)用廣泛,如何處理各種復(fù)雜問題?
如今,真空設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛,其中許多與電力,電磁,水,氣源和制冷有關(guān)。真空爐或鍍膜設(shè)備都會遇到電氣問題。很少有一些情況不是電源部分的問題,這很難理解。其中一些是由于機械組裝時的粗心造成的,而某些是絕緣材料或結(jié)構(gòu)的問題。這時,不要急于下結(jié)論,不要急于拆卸設(shè)備,您應(yīng)仔細(xì)分析故障現(xiàn)象或咨詢專門從事此工作的人員。避免意外拆卸和拆卸造成不必要的損失。有一種特殊的設(shè)備在工作時會放電。在分析工作記錄并與操作員溝通之后,可以得出不同的結(jié)論。有人認(rèn)為電源有問題,有人認(rèn)為這是組裝過程中的問題。之后,拆卸設(shè)備,重新組裝后消除放電現(xiàn)象。有一個磁控濺射鍍膜機,產(chǎn)品的下半部明顯好于上半部,靶的外觀沒有問題,磁環(huán)的上半部用高斯計消磁。檢查后,發(fā)現(xiàn)水路有問題。調(diào)整水路,更換磁環(huán),解決了產(chǎn)品上下的一致性問題。
在設(shè)備的加工階段,必須遵循加工技術(shù)(尤其是焊接技術(shù)),以及時發(fā)現(xiàn)半成品的泄漏。對于制造后無法觸摸,泄漏測試或維修的零件,必須嚴(yán)格測試焊接質(zhì)量是否有泄漏,不合格的零件應(yīng)及時重新焊接,維修和泄漏測試,然后可以進行下一個過程符合要求后。特別是對于大型容器的裝配焊接和加工,中間過程中的泄漏檢測非常重要。如有必要,應(yīng)設(shè)計和制造專用的檢漏工具(例如檢漏盒,盲板等)。對于帶有雙壁水冷套的真空腔體,先焊接內(nèi)腔壁并檢查是否泄漏,確認(rèn)沒有泄漏,然后再焊接外腔壁。同樣,在腔室壁的外側(cè)存在難以拆卸的絕緣層的情況下,需要在覆蓋外部結(jié)構(gòu)之前對腔室壁進行嚴(yán)格的泄漏檢測。
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