在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的重要因素。因此,在評(píng)估薄膜樣品的性能時(shí),有必要測(cè)試不同厚度下薄膜樣品的性能。在真空鍍膜的情況下,往往需要多次準(zhǔn)備樣品。但是這么多次制備樣品有兩個(gè)問(wèn)題:一,對(duì)于不同時(shí)間生長(zhǎng)的樣品,儀器的狀態(tài)是不同的,所以影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,在真空鍍膜實(shí)驗(yàn)中加載樣品時(shí),再次獲得真空是非常耗時(shí)的。和檢測(cè)成本增加。
真空鍍膜是一種需要在高真空度下進(jìn)行的鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等。在真空鍍膜過(guò)程中,磁控濺射靶在發(fā)射過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生高溫,使發(fā)射變形,所以它有水套來(lái)冷卻發(fā)射。為了保證水套內(nèi)的水溫不受環(huán)境和自然氣溫的影響,通常需要使用冷水機(jī)對(duì)真空鍍膜機(jī)進(jìn)行冷卻。
使用電子鍍膜時(shí),在鐘罩外圍要放一塊鋁板。觀察窗的玻璃應(yīng)采用鉛玻璃,觀察時(shí)應(yīng)佩戴鉛玻璃眼鏡,防止x光對(duì)人體造成傷害。2.在離子轟擊和蒸發(fā)過(guò)程中,要特別注意高壓線(xiàn)接頭,不要觸碰,以防觸電。1.真空鍍膜機(jī)正常運(yùn)行時(shí),必須先打開(kāi)水管,工作中要注意水壓。
微信二維碼
肇慶市鴻利達(dá)真空設(shè)備科技有限公司
地址:廣東省肇慶市高要區(qū)金渡鎮(zhèn)金渡工業(yè)園
電話(huà):138-2261-7524
郵箱:987291173@qq.com