1）增強ARE型。利用電子束進行加熱；充入Ar，其它惰性氣體，反應氣體氧氣，氮氣等；離化方式：探極除吸引電子束的一次電子，二次電子外，增強極發(fā)出的低能電子也可促進氣體離化。真空蒸發(fā)這種方法的特點是：基板溫升小，

要對基板加；可用于鍍機械制品，電子器件，裝飾品。

2）低壓等離子體離子鍍（LPPD）。利用電子束進行加熱；依靠等離子體使充入的惰性氣體，反應氣體離化。這種方法的特點是：基板溫升小，要對基板加熱，結構簡單，能獲得氧化鋁，氮化鈦，碳化鈦等離子化合物鍍層；可用于鍍機械制品，電子器件，裝飾品。

3）真空泵電場蒸發(fā)。利用電子束進行加熱依靠電子束形成的金屬等離子體進行離化。這種方法的特點是：基板溫升小，要對基板加熱，帶電場的真空蒸鍍，鍍層質量好；可用于鍍電子器件，音響器件。

4）感應離子加熱鍍。利用高頻感應進行加熱；依靠感應漏磁進行離化。這種方法的特點是：基板溫升小，能獲得化合物鍍層；可用于機械制品，電子器件，裝飾品。

5）集團離子束鍍。利用電阻加熱，從坩鍋中噴出集團狀蒸發(fā)顆粒。依靠電子發(fā)射或從燈絲發(fā)出電子的碰撞作用進行離化。這種方法的特點是：基板溫升小，即能鍍金屬膜又能直接鍍化合物膜，如氧化鋅等；可用于鍍電子器件，音響器件。

6）多弧離子鍍。利用陰極弧光進行加熱；依靠蒸發(fā)原子束的定向運動使反應氣體(或真空)離化。這種方法的特點是：基板溫升較大，離化率高，沉積速率大；可用于鍍機械制品，刀鋸，模具。

真空鍍膜技術的發(fā)展趨勢

科技發(fā)展愈來愈快，信息高速公路，數(shù)字地球等新概念的提出，影響和帶動了全球高科技的發(fā)展，目前，生命科學，環(huán)?？萍迹牧峡茖W和納米科技是高科技重點研究的領域；納米科技中又以納米電子學為優(yōu)先研究領域。 

目前計算機和信息技術的基礎是超大規(guī)模集成電路；但下個世紀的基本元件將是納米電子集成電路。它是微電子器件的下一代，有自己的理論，技術和材料?，F(xiàn)有微電子器件的主要材料是極純的硅，鍺等晶體半導體。納米電

子器件有可能是以有機或無機復合晶體薄膜為主要原理，要求純度更高，結構更完善。真空制備的清潔環(huán)境，有希望加工組裝出納米電子器件所要求的結構。 

總之，表面和薄膜科學，微電子器件及納米技術等迅速發(fā)展，將使一起開發(fā)和檢測方法體系研究成為真空鍍膜技術中的發(fā)展重點；而電子束蒸發(fā)源將是真空鍍膜技術中的一種重要的加熱方法和發(fā)展方向。