真空膜在加工制造過程中，嚴格執(zhí)行真空衛(wèi)生和操作規(guī)范，也有助于提高真空設(shè)備和系統(tǒng)的氣密性。焊接坡口打磨成型后，需要及時除油清洗和保護，有助于提高焊縫的氣密性。機械加工零件的動態(tài)和靜態(tài)密封面，

真空設(shè)備應(yīng)采取保護措施，防止在儲存、搬運和組裝過程中碰撞和擦傷。當(dāng)使用焊接波紋管、金屬陶瓷或玻璃密封件、玻璃零件和其他易損零件時，應(yīng)更加小心操作，特別是要避免在通過預(yù)檢驗后因損壞而造成的泄漏孔。

真空設(shè)備安裝調(diào)試過程中的檢漏步驟

安裝調(diào)試階段是真空設(shè)備或系統(tǒng)檢漏的主體。如果在加工階段已經(jīng)通過檢漏保證了設(shè)備焊縫的氣密性，那么在設(shè)備安裝和調(diào)試過程中，檢查和保證連接部件的密封性是檢漏的重點。包括各種管道和部件之間的法蘭連接

真空設(shè)備廠家連接和移動密封件等關(guān)鍵可疑零件。如果同時檢測焊縫和接頭，檢漏的工作量和難度會增加。大型復(fù)雜真空設(shè)備采用分段檢漏。安裝一個部件時，對其連接件和焊縫進行一次檢漏，符合要求后再安裝下一個部件。

真空設(shè)備由于所有零件都是在檢漏前組裝的，不僅可疑零件太多，還可能同時出現(xiàn)多個漏孔，給總檢漏帶來很大困難。真空設(shè)備安裝和調(diào)試期間的檢漏步驟如下:

1.了解被檢設(shè)備的結(jié)構(gòu)和裝配過程。掌握設(shè)備要求，找出需要檢漏的關(guān)鍵可疑部位。

2.根據(jù)規(guī)定的允許泄漏率和是否有必要找到泄漏孔的具體位置，本著經(jīng)濟、快速、可靠的原則，正確選擇泄漏檢測方法或儀器，并準(zhǔn)備好泄漏檢測所需的輔助設(shè)備，然后制定可行的泄漏檢測程序。

3.清洗被檢查的零件，取出焊渣和油垢，然后在真空衛(wèi)生條件下清洗并干燥。對于要求高的小型設(shè)備。清洗后，可以在真空干燥箱中烘烤。清洗后，它不僅可以避免從污垢，油，有機溶液等泄漏孔堵塞，還要保護檢漏儀。

4.校準(zhǔn)所選檢漏方法和設(shè)備的檢漏靈敏度，確定檢漏系統(tǒng)的檢漏時間。

5.如果采用真空檢漏法，為了提高儀器的靈敏度，被檢零件應(yīng)盡可能抽至較高的真空。

6.在允許的前提下，盡可能優(yōu)先采用更經(jīng)濟、更合格的檢漏方法。

7.使用氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備進行檢漏時，對于檢漏要求較低或泄漏量較大的被檢零件，在檢漏初期應(yīng)盡量使用低濃度的氦氣進行檢漏，然后使用小的漏孔進行檢漏，以節(jié)省氦氣。

8.及時修復(fù)檢測到的大漏孔，然后檢查小漏孔。

9.對檢測修復(fù)后的滲漏孔進行復(fù)查，確保滲漏檢測結(jié)果符合要求。