★該立式真空鍍膜設(shè)備可分為單門或雙門蒸發(fā)鍍膜機(jī)、單門或雙門磁控鍍膜機(jī)、單門或雙門磁控蒸發(fā)組合AF鍍膜機(jī),蒸發(fā)鍍膜機(jī)可蒸發(fā)鍍鋁絲和鋁片。磁控鍍膜機(jī)可鍍的工藝膜系有:金膜、銀膜、鋁膜、鈦金膜、不銹鋼膜等單質(zhì)膜和氧化膜、復(fù)合膜、增透膜、增亮膜、光學(xué)膜、ITO導(dǎo)電膜、EMI屏蔽膜等等。設(shè)備能生產(chǎn)的產(chǎn)品有銀鏡、鋁鏡、彩色玻璃、工藝玻璃、光伏玻璃、光電玻璃、ITO導(dǎo)電玻璃、非導(dǎo)玻璃等,以及PC、PVC、PET等材料表面鍍AR、AF、ITO、非導(dǎo)等膜和金屬單質(zhì)膜等工藝。設(shè)備主要應(yīng)用在手機(jī)鏡片和手機(jī)后蓋鍍膜、電子、電器、軍工、家電、五金、玩具、汽車、建筑、建材、燈飾、裝飾等眾多行業(yè)領(lǐng)域。本設(shè)備的優(yōu)點(diǎn):抽速快及穩(wěn)定、產(chǎn)量高、轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)運(yùn)行平穩(wěn)不卡頓。高真空部分可根據(jù)客戶實(shí)際需要全選擇油擴(kuò)散泵或分子泵,或兩者搭配使用;設(shè)計(jì)有防返油機(jī)構(gòu),減少對(duì)產(chǎn)品的污染;使用國(guó)內(nèi)或國(guó)外知名品牌真空泵機(jī)組,加上人性化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)理念和智能控制及顯示系統(tǒng),如能增加使用深冷系統(tǒng),會(huì)加快抽速時(shí)間及產(chǎn)量,使設(shè)備盡善盡美。
★工藝氣體:氬氣、氧氣、氮?dú)獾龋唧w看生產(chǎn)的產(chǎn)品而定。
★靶材材質(zhì):金、銀、銅、鋁、鈦、鋯、硅、鎳、鉻、錫、銦、鈮、不銹鋼等或錫銦、硅鋁、鎳鉻等合金、鋁絲、鋁片。
★磁控濺射電源:直流電源、中頻電源、離子轟擊電源、離子源電源(按客戶需要而定)、蒸發(fā)器。
★該立式磁控蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的結(jié)構(gòu):
可分為單開(kāi)門或雙開(kāi)門結(jié)構(gòu),
前級(jí)有精抽真空泵機(jī)組、粗抽真空泵機(jī)組、粗抽閥、前置閥、高真空閥、磁控濺射蒸發(fā)室(單室時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)工件架裝在固定門里;如是雙開(kāi)門時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)工件架裝在兩個(gè)活動(dòng)門里)-----有磁控濺射陰極靶或蒸發(fā)器或者磁控濺射陰極靶和蒸發(fā)器組合,氣體系統(tǒng)和離子轟擊等。
★該立式磁控蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的工作流程:
在工件架上掛上或貼上基片-----如有蒸發(fā)需裝上鋁絲或藥丸子-----關(guān)上大門,開(kāi)真空泵進(jìn)行抽真空----如果有轟擊(有時(shí)需要充入氬氣)開(kāi)轟擊開(kāi)轉(zhuǎn)動(dòng)-----轟擊結(jié)束后繼續(xù)抽真空直至真空度5×10-2Pa左右或更高,開(kāi)蒸發(fā)器進(jìn)行蒸發(fā)同時(shí)開(kāi)工件架轉(zhuǎn)動(dòng)(如果是磁控鍍膜的話,充工作氣體開(kāi)磁控靶同時(shí)工件架轉(zhuǎn)動(dòng)),-----鍍膜結(jié)束后,關(guān)閉所有閥門,打開(kāi)真空室放氣閥放氣,打開(kāi)大門取下工件。重新掛上新的工件(如此循環(huán)工作)。
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