磁控濺射技術(shù)不僅是科學(xué)研究和精密電子制造中常用的薄膜制備技術(shù),而且經(jīng)過多年的不斷改進和發(fā)展,已經(jīng)成為重要的工業(yè)化大面積真空鍍膜技術(shù)之一,廣泛應(yīng)用于玻璃、汽車、醫(yī)療保健、電子工業(yè)等行業(yè)和民生領(lǐng)域。例如,磁控濺射技術(shù)生產(chǎn)的鍍膜玻璃可以由多層金屬或金屬氧化物組成,允許任意調(diào)節(jié)能量通過率和反射率,具有良好的美學(xué)效果,越來越多地應(yīng)用于現(xiàn)代建筑領(lǐng)域。比如磁控濺射技術(shù)也可以應(yīng)用于織物涂層[3],可以應(yīng)用于安全領(lǐng)域,如防電擊、電磁屏蔽、機器人防護織物等,也可以用于染料生產(chǎn)。這種涂層織物在醫(yī)療保健、環(huán)保、電子工業(yè)等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。
磁控濺射技術(shù)是一項起源較早,但至今仍能發(fā)揮巨大作用的技術(shù)。其優(yōu)勢不僅體現(xiàn)在涂料上,還滲透到各個行業(yè)。到目前為止,我國的濺射技術(shù)水平與前一個相比有了很大的突破。隨著時代的進步和現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)的需求,社會對磁控濺射技術(shù)的要求越來越高,這就要求研究人員對這項技術(shù)進行進一步的研究和改進,提高其精度和功能,滿足現(xiàn)代工業(yè)日益增長的需求,更好地為社會發(fā)展和科學(xué)進步做出貢獻。
從最初的單體間歇鍍膜設(shè)備到全自動連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線,在整個鍍膜設(shè)備的開發(fā)過程中,該行業(yè)的工程技術(shù)人員對鍍膜設(shè)備進行了一系列創(chuàng)新性的設(shè)計改進,如提高磁控濺射靶材的濺射率、消除靶材末端的溝槽、提高轉(zhuǎn)臺的裝載能力等。這些改進有效地提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,降低了能耗,為集熱管的大規(guī)模生產(chǎn)奠定了基礎(chǔ)。同時,這些改進也可以為其他行業(yè)涂裝設(shè)備的發(fā)展提供參考。
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