真空鍍膜的工作原理是膜在高溫下蒸發(fā),落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對蒸發(fā)的膜分子產(chǎn)生阻力,造成碰撞,晶體變得粗糙無光,因此晶體必須在高真空下細密明亮。如果真空度不高,晶體就會失去光澤,結(jié)合力也很差。早期真空鍍膜依靠蒸發(fā)體自然散射,結(jié)合效率低,光澤差。現(xiàn)在加上中頻磁控濺射靶,磁控濺射鋯在電場的作用下加速了膜的蒸發(fā)分子的轟擊,濺出了大量的靶原子,中性靶原子(或分子)沉積在基底上成膜,解決了以往自然蒸發(fā)不能加工的膜品種,如鍍鈦鍍鋯等。
由于其頻率高、電流大,中頻設(shè)備必須加入冷卻水。當(dāng)導(dǎo)體流動時,電流具有集膚效應(yīng),電荷會聚集在導(dǎo)體表面,從而使導(dǎo)體發(fā)熱,因此采用中孔管作導(dǎo)體中間加水冷卻。
磁控控制濺射靶,為什么還要用水冷卻?磁性控制濺射靶在發(fā)射過程中會產(chǎn)生高溫,從而使射槍變形,因此它有一個水套來冷卻射槍。與此同時,磁控濺射也是電鍍技術(shù)中最突出的成就之一。其濺射率高,基片溫度升低,膜-基結(jié)合力好。
對電子在非均勻電磁場中的運動規(guī)律進行了深入的研究,探討了磁控濺射的一般原理,以及磁場的橫向不均勻性和對稱性,這是磁約束的根本原因。磁性控制濺射是鍍膜工藝中最突出的成就之一。其濺射率高,基片溫度升低,膜-基結(jié)合力好,設(shè)備性能穩(wěn)定。
冷卻器是一種水冷設(shè)備,可以提供恒溫,恒流,恒壓的冷卻器。它的工作原理是先向機器內(nèi)的水箱注入一定量的水,通過制冷系統(tǒng)將水冷卻,然后由泵將低溫冷卻水輸送到需要冷卻的設(shè)備中,冷凍水帶走熱量后,溫度升高,再回流到水箱中,達到冷卻的效果??梢愿鶕?jù)需要自動調(diào)節(jié)冷卻水溫度,長期使用可以節(jié)省用水。
冷卻器可以控制真空鍍膜機的溫度,保證鍍件的優(yōu)質(zhì)。若不配備冷水機,則無法使真空鍍膜機達到高精度、高效率地控制溫度的目的,因為自然水和水塔的散熱必然會受到自然溫度的影響,而且這種控制方式非常不穩(wěn)定。
冷水機組有完全獨立的制冷系統(tǒng),不受溫度和環(huán)境的影響。水溫在5℃~30℃范圍內(nèi)調(diào)節(jié)控制,可以達到高精度高效控制溫度的目的。冷水機組有獨立的水循環(huán)系統(tǒng)。
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