真空蒸發(fā)設(shè)備由真空泵系統(tǒng)和真空室組成，其中真空泵系統(tǒng)由(超)高真空泵、低真空泵、排氣管和閥門等組成。真空室配有蒸發(fā)源、晶體振蕩器和掩模板等不可缺少的部件。多個(gè)用于放置有機(jī)材料的蒸發(fā)源設(shè)置在真空室中并左右移動(dòng)，用于加熱有機(jī)材料以將其蒸發(fā)并沉積在襯底上以形成薄膜。AMOLED面板需要蒸鍍十層以上的有機(jī)材料。蒸發(fā)厚度和均勻性是核心指標(biāo)，需要控制在納米級(jí)精度，直接決定了OLED面板的發(fā)光效率、顯示顏色和成品率。蒸發(fā)源作為蒸發(fā)的核心部件，其性能決定了蒸發(fā)過程中薄膜的厚度和均勻性，可視為蒸發(fā)設(shè)備的“心臟”。

有機(jī)涂層蒸發(fā)源:在有機(jī)成膜過程中，如何穩(wěn)定控制蒸發(fā)速度，并長(zhǎng)期保持連續(xù)蒸發(fā)，是批量生產(chǎn)設(shè)備上蒸發(fā)源設(shè)計(jì)的重要問題。在生產(chǎn)中為了控制TactTime，蒸發(fā)源的運(yùn)行方式一般采用快門控制，蒸發(fā)源始終保持在設(shè)定的加熱溫度。當(dāng)基板移動(dòng)到指定位置時(shí)，蒸發(fā)源的快門打開，形成薄膜。當(dāng)連續(xù)運(yùn)行時(shí)，大量有機(jī)材料儲(chǔ)存在真空蒸發(fā)系統(tǒng)中，以維持蒸發(fā)源的運(yùn)行或使用自動(dòng)填充機(jī)構(gòu)，并且同樣的設(shè)計(jì)考慮必須應(yīng)用于金屬電極膜形成過程。晶體膜厚監(jiān)控法用于控制蒸發(fā)速度，在連續(xù)大規(guī)模生產(chǎn)過程中，為了保持測(cè)量精度，自動(dòng)交換水屑的機(jī)制也是必要的。