D.M.Mattox于1963年提出真空離子鍍膜,并開始實驗。一九七一年,Chamber等發(fā)布了電子束離子鍍技術(shù),一九七二年,B報告了反應(yīng)蒸發(fā)鍍技術(shù),并制作了TIN和TIC超硬膜。同一年,MOLEY和SMITH將中空陰極技術(shù)應(yīng)用于鍍膜。二十世紀八十年代,國內(nèi)又相繼出現(xiàn)了多弧離子鍍和電弧放電高真空離子鍍,至今已達到工業(yè)應(yīng)用水平。
離子鍍膜的原理和類型:
在真空室中,離子鍍是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分分離,在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)顆粒轟擊的同時,將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子體電鍍將輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)與真空蒸發(fā)有機結(jié)合,不僅可以明顯提高膜的質(zhì)量,而且可以擴大膜的應(yīng)用范圍。其優(yōu)點是膜附著力強、繞射性好、膜材廣泛等。D.M.首次提出離子電鍍原理,工作過程如下:
首先,將真空室抽到4×10(-3)帕以上的真空度,然后打開高壓電源,在蒸發(fā)源和基片之間建立低壓氣體放電的低溫等離子區(qū)?;姌O連接5KVDC負高壓,形成輝光放電陰極。輝光放電區(qū)產(chǎn)生的惰性氣體離子進入陰極暗區(qū),被電場加速,轟擊基片表面進行清洗。然后進入涂層過程,加熱使涂層氣化,原子進入等離子區(qū),與惰性氣體離子和電子碰撞,少數(shù)產(chǎn)生離化。離子和氣體離子以更高的能量轟擊涂層表面,從而提高涂層質(zhì)量。
離子鍍層種類繁多,蒸發(fā)源加熱方式有電阻加熱、電子束加熱、等離子電子束加熱、高頻感應(yīng)加熱等。
然而,多弧離子電鍍與普通離子電鍍有很大不同。多弧離子電鍍采用弧放電,而不是傳統(tǒng)離子電鍍的輝放電。簡而言之,多弧離子電鍍的原理是將陰極靶作為蒸發(fā)源,通過靶與陽極殼之間的弧放電蒸發(fā)靶材,在空間中形成等離子體,沉積基體。
微信二維碼
肇慶市鴻利達真空設(shè)備科技有限公司
地址:廣東省肇慶市高要區(qū)金渡鎮(zhèn)金渡工業(yè)園
電話:138-2261-7524
郵箱:987291173@qq.com