蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)技術(shù)要求

構(gòu)造要求

1.設(shè)備結(jié)構(gòu)布局合理，外形美觀，操作方便，維護(hù)方便。

2.設(shè)備中靜動(dòng)密封的結(jié)構(gòu)形式和尺寸應(yīng)符合GB/T6070和JB/T1090~1092的要求。

3.在低真空、高真空管道和涂層室安裝真空管道，分別測(cè)量各部分的壓力。

4.如果設(shè)備的真空單元以擴(kuò)散泵為主泵，則應(yīng)在擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口安裝擋板或冷阱。

5.涂層室應(yīng)有觀察窗。對(duì)于涂層過(guò)程中發(fā)生輻射的設(shè)備，觀察窗應(yīng)安裝防輻射鏡片。

6.帶工件烘烤裝置的設(shè)備應(yīng)有溫度測(cè)量電極或溫度測(cè)量裝置。

7.工件架旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)速應(yīng)符合產(chǎn)品設(shè)計(jì)要求。

8.配有離子轟擊裝置或?qū)捠湍茈x子源裝置的設(shè)備應(yīng)能在產(chǎn)品設(shè)計(jì)要求的參數(shù)范圍內(nèi)正常連續(xù)穩(wěn)定工作30分鐘以上。

9.鎢絲作為蒸發(fā)熱源的加熱器應(yīng)能使蒸鍍材料正常蒸發(fā)，蒸發(fā)過(guò)程中加熱器的幾何形狀不應(yīng)影響正常蒸發(fā)。

10.設(shè)備蒸發(fā)源的工作條件應(yīng)穩(wěn)定，易于調(diào)節(jié)和控制。各種蒸發(fā)源(如電阻蒸發(fā)源、電子束蒸發(fā)源、離子束蒸發(fā)源、激光蒸發(fā)源、感應(yīng)蒸發(fā)源等。)的技術(shù)要求應(yīng)符合相應(yīng)的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。

設(shè)備采用低電壓、大電流電阻蒸發(fā)源時(shí)，各蒸發(fā)源加熱器應(yīng)處于4V~20V電壓、50A~180A電流狀態(tài)。

生產(chǎn)要求

1.設(shè)備零件的機(jī)械加工質(zhì)量和焊接零件的質(zhì)量和組裝質(zhì)量應(yīng)符合制造商的技術(shù)文件要求。

2.設(shè)備鍍膜室內(nèi)表面及各密封面的粗糙度Ra值不得大于1.6um，并對(duì)工作時(shí)處于真空狀態(tài)的各個(gè)表面進(jìn)行有效的真空清洗處理，并進(jìn)行干燥。各旋轉(zhuǎn)部件、升降機(jī)構(gòu)等動(dòng)作應(yīng)靈活，不得有卡、滯、松、抖、異響等現(xiàn)象，需要使用潤(rùn)滑脂的動(dòng)密封部位應(yīng)適量真空油。

3.設(shè)備主要部件的材料應(yīng)符合相應(yīng)的材料標(biāo)準(zhǔn)。

4.配套設(shè)備的電氣設(shè)備質(zhì)量應(yīng)符合制造商的技術(shù)文件要求，設(shè)備運(yùn)行安全可靠。

5.設(shè)備的外觀質(zhì)量應(yīng)無(wú)非功能性要求的尖角、棱角、凸起和粗糙不平整的表面。零件結(jié)合面邊緣應(yīng)整齊均勻，無(wú)明顯偏差。金屬零件的涂層應(yīng)牢固，無(wú)脫落、生銹等現(xiàn)象，所有固體零件應(yīng)有防銹層。設(shè)備的涂裝表面應(yīng)光滑、美觀、牢固、無(wú)脫落、剝落。

6.設(shè)備中外購(gòu)買的配套產(chǎn)品應(yīng)符合相應(yīng)的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，并有質(zhì)量證書(shū)。設(shè)備中自制的配套產(chǎn)品只能在制造商檢驗(yàn)部門檢驗(yàn)合格后使用。

7.設(shè)備中的各種蒸發(fā)源、輔助離子源和離子轟擊、工件旋轉(zhuǎn)、工件烘烤、工件偏壓、薄膜厚度監(jiān)測(cè)等設(shè)備。應(yīng)逐一調(diào)試和聯(lián)合調(diào)試，其性能應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，運(yùn)行可靠。當(dāng)工件加熱到額定溫度時(shí)，真空室外表面溫度不應(yīng)高于45度，設(shè)備運(yùn)動(dòng)部件應(yīng)正常工作。