根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同,鍍膜機(jī)可分為電子槍蒸發(fā)式鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、等離子式鍍膜機(jī)、射頻鍍膜機(jī)等,但它們的結(jié)構(gòu)基本相同,以光學(xué)鍍膜機(jī)為例,其主要由三部分組成:真空體-真空腔,輔助排氣系統(tǒng)(包括排氣系統(tǒng),測(cè)量系統(tǒng)),蒸發(fā)系統(tǒng)(包括坩堝和旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng),電子槍),成膜控制系統(tǒng)。
真空鍍膜設(shè)備是怎么鍍膜的,該工藝是將材料在真空環(huán)境下加熱鍍到襯底上進(jìn)行真空蒸鍍。特別地,真空蒸鍍是將薄膜覆蓋的物質(zhì)在真空中蒸發(fā)或升華,從而在工件或襯底表面上析出的過(guò)程。真空蒸鍍一般采用鋁膜作為鍍層,但也可采用蒸發(fā)沉積方法形成其他鍍層。但目前的鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,成本也比較高,不能完全適應(yīng)工業(yè)化生產(chǎn)的要求,不利于降低鍍膜產(chǎn)品的成本。
本系統(tǒng)是將真空鍍膜系統(tǒng)與手套箱系統(tǒng)相結(jié)合,提供了一種手套箱式蒸鍍一體機(jī),該系統(tǒng)可以在高真空蒸鍍室內(nèi)完成薄膜蒸鍍,樣品的存放、制備及蒸鍍后的樣品檢測(cè)均在手套箱內(nèi)高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行。
蒸鍍與手套箱相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試全封閉生產(chǎn),使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)過(guò)程和器件制備過(guò)程在可控環(huán)境氣氛下高度集成,消除了大面積有機(jī)電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境不穩(wěn)定因素的影響,保證了高性能、大面積制備有機(jī)光電器件和電路。
優(yōu)點(diǎn):生產(chǎn)效率高,有利于降低鍍膜產(chǎn)品的成本。
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